醫(yī)療真空機組是由真空泵、各種管道、集成傳感器、真空計、測量儀、電控系統(tǒng)等一系列配套的真空輔助設(shè)備組成，根據(jù)主泵的種類而定，按應(yīng)用范圍分為低真空機組、中空泵機組、高真空機組和超高真空機組。

1)低真空機組一般采用直排式真空泵，如容積式往復(fù)泵、水環(huán)泵、油封機械泵、螺旋真空泵、濕式羅茨泵、噴射泵、分子篩吸附泵等，低真空機組工作壓力高、排氣量大、真空度高。

2)中真空機組主要由羅茨真空泵+油封機械泵、羅茨真空+水環(huán)真空泵和雙羅茨真空泵等組合。由于螺旋無油真空泵的廣泛應(yīng)用，無油真空泵如羅茨真空泵+螺桿真空泵也逐漸增多，適用于需要大抽速、得到中真空的各種真空系統(tǒng)中，如鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理及醫(yī)藥化工、電工焊接等行業(yè)。

高真空機組工作于分子流狀態(tài)，工作壓力范圍在10-2~10-6Pa，排量小，抽速大，主泵由擴散泵、分子泵、液力泵、液力泵、液力泵等組成，主要由擴散泵、分子泵、泵等組成，泵的工作壓力范圍在10-2~10-6Pa。

超高真空機組壓力區(qū)間為10-6~10-10Pa，主泵的極限真空范圍為10-7~10-8Pa，保證在壓力范圍內(nèi)保證相應(yīng)的抽速，對系統(tǒng)組成的材料要求能承受200~450℃高溫烘烤并低漏氣率與出氣率。

真空機組的試驗值。

真空機組系統(tǒng)是真空機組中的關(guān)鍵參數(shù)，如"真空度(負壓或增壓)"、"流量"等數(shù)據(jù)，進行實時監(jiān)控、自動調(diào)節(jié)，例如完成"真空保壓"、"自動定時停機、起動"定時定量"真空抽濾"等功能控制系統(tǒng)，稱為真空系統(tǒng)。